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Kèo nhà cái 5´Ëºó£¬³¤½´æ´¢Ò²ÓÀ´ÁË×Ô¼ºµÄµÚһ̨¹â¿Ì»ú£¬Í¬ÑùÀ´×ÔASML£¬²»¹ýÊÇ193nm³Á½þʽ£¬ÓÃÓÚ²ú20-14nm¹¤ÒÕµÄ3DNANDÉÁ´æ¾§Ô²£¬7200ÍòÃÀԪһ̨¡£5ÔÂ21ÈÕ£¬ÅìÅÈÐÂÎżÇÕßÇ×ÉíÌåÑé±ÏÒµÉúÂ仧Î人°ìÀíÁ÷³Ì£¬Ìá½»ÆëÈ«²ÄÁϺó£¬ÏÖ³¡°ì½á£¬Ç°ºó²»µ½10·ÖÖÓ¡£°ìÀíÂ仧ºó£¬±ÏÒµÈýÄêÄÚ´óѧÉú¿ÉÏí°ËÕÛ×â·¿µÈ¸£Àû¡£²»³öÒâÍ⣬ÍõÒã¾Í£»ªÊ¢¶ÙÆڼ佫¼ûµ½ÅîÅå°Â£¬ÕâÒ²ÊÇÍõÒãÓëÕâλÐÂÈÎÃÀ¹ú¹úÎñÇäµÄµÚÒ»´Î»áÃæ¡£
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